在半導(dǎo)體過程中，由于零部件的結(jié)構(gòu)相對簡單細(xì)小，所以在組裝上就有比較大的精度要求。直線電機(jī)除了擁有高速度，低磨耗的特性以外，還有高精度，結(jié)構(gòu)簡單，運(yùn)動平穩(wěn)等特性，它能使整個組裝設(shè)備完美的運(yùn)行，并且提高整個生產(chǎn)效率。因此，在組裝上引用直線電機(jī)就成為了一種新的趨勢。

當(dāng)直線滑臺長時間不使用時，如果不細(xì)心維護(hù)，到突然使用，會導(dǎo)致精度和速度下降，使用壽命縮短或其他故障，如腐蝕和生銹。信進(jìn)認(rèn)為日常維護(hù)包括以下幾個方面:

 

一.如果與直線滑臺匹配的電機(jī)是DC電機(jī)，當(dāng)DC電機(jī)停止使用時，應(yīng)將電刷從DC電機(jī)上拆下，以免因化學(xué)腐蝕而損壞換向器，從而降低換向器的性能，甚至降低整個換向器的性能，導(dǎo)致直線滑臺無法正常工作。

 

二.在雨季或相對濕度較高的環(huán)境中，直線滑臺應(yīng)定期通電。電機(jī)不運(yùn)轉(zhuǎn)時，即機(jī)床鎖死時，讓其空轉(zhuǎn)，利用電器元件的發(fā)熱原理驅(qū)散直線滑臺中的水分，保證其性能的穩(wěn)定可靠。此外，常規(guī)電源可以保證備用電池的充電需求，但應(yīng)經(jīng)常檢查電池的電壓。如果過低，需要立即更換，以防斷電造成數(shù)據(jù)丟失。

 

三.對于停用的直線滑臺，應(yīng)定期使用防銹油和潤滑油，以防止生銹或腐蝕，避免使用中出現(xiàn)故障。

 

直線滑臺的摩擦阻力非常小，因此只需要很小的驅(qū)動力就可以移動負(fù)載。低摩擦阻力有助于降低熱效應(yīng)。因此，與傳統(tǒng)的滑模系統(tǒng)相比，直線滑臺的摩擦阻力減小，精度可以長期保持。