這個(gè)精度的測(cè)量的四大過程及其衡量的標(biāo)準(zhǔn)。

 

 

 

線性模組

 

 

 

1、重復(fù)定位精度：對(duì)任意一點(diǎn)在相同方向進(jìn)行7次反復(fù)定位，再測(cè)出其間止方位，算出表頭讀數(shù)Z 大差值的1/2。作為檢驗(yàn)的準(zhǔn)則，在移動(dòng)距離的中央及大致兩端的方位分別進(jìn)行檢驗(yàn)，將檢驗(yàn)數(shù)值中的Z 大值作為測(cè)定值，用帶有±的Z 大差的1/2標(biāo)明。

 

 

 

2、工作平行度：在設(shè)備線性模組的平臺(tái)上放置規(guī)范尺，用實(shí)驗(yàn)指示器在內(nèi)滑塊所能移動(dòng)的范圍內(nèi)進(jìn)行檢驗(yàn)，移動(dòng)范圍內(nèi)讀數(shù)的Z 大差即是測(cè)定值。

 

 

 

3、游隙：對(duì)內(nèi)滑塊給予進(jìn)給，以滑塊剛剛初步移動(dòng)時(shí)實(shí)驗(yàn)指示器的讀數(shù)為基準(zhǔn)，從這個(gè)情況初步，不依賴進(jìn)給設(shè)備，在與內(nèi)滑塊移動(dòng)方向相同的方向上（工作臺(tái)的進(jìn)給方向）施加負(fù)荷，以后把檢驗(yàn)初步時(shí)的基準(zhǔn)值與回來時(shí)方位之間的差值，當(dāng)作測(cè)定值。檢驗(yàn)在運(yùn)動(dòng)部分的中央及大致兩端的方位分別進(jìn)行，把所得到的數(shù)值中的Z 大值當(dāng)作測(cè)定值。

 

 

 

4、定位精度：以線性模組的Z 大行程為基準(zhǔn)長(zhǎng)度，用從基準(zhǔn)方位初步實(shí)踐移動(dòng)的距離與指令值之間的Z 大過失的絕 對(duì)值來標(biāo)明